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    微納結構三維形貌測量儀

    更新時間:2021-03-16

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    微納結構三維形貌測量儀系列微納結構三維形貌檢測儀,基于白光干涉掃描原理,以光波長作為測量基準,利用納米級高精度掃描系統結合具有自主知識產權的高精度解析算法,實現連續或臺階突變微納結構表面三維形貌重構,由此獲得待測物體三維形貌、表面紋理、微觀尺寸等各類外觀參數測量結果。
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